滑动式管式快速退火炉

滑动式管式快速退火炉两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率可达100°C/m。为取得较快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。

可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内先进水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。

适用范围：可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

特点：

1、多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀

重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求。

2、炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工

具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。

3、双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温

整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

4、法兰采用双环密封技术

有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

5、内嵌式合金电热丝，升温快，寿命长

加热元件采用内嵌式合金电热丝，发热效率高、耐高温、抗具氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便，使用寿命长。

6、微电脑PID控制器，操作简便

操作简便，控温准确、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行。

炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。

炉管尺寸：Φ60mmX1500mm

温区长度：440mm(更多规格可按照客户要求定制)

恒温区长：260mm

工作温度：1100℃

最高温度：1200℃

温控系统：30段PID微电脑可编程自动控制（用户可选配液晶触摸屏显示）

控温精度：±1℃

温控保护：具有超温和断偶保护功能

加热速率：0~20℃/分

加热元件：合金加热丝

工作电压：AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）

最大功率：3KW

气密性：4.03*10-3Pa

用途：低成本进行快速热处理。

特点：炉底安装一对滑轨，可用手动滑动，可以快速加热和降温。